瑞士萬通離子色譜應(yīng)用一芯中有我--電子級HF

       中美貿(mào)易戰(zhàn)的大背景下還存在過一場日韓貿(mào)易戰(zhàn)，大家應(yīng)該還都有印象，日本對韓禁售電子級HF、氟聚酰亞胺和光刻膠，韓國哀嚎一片。為什么這三類產(chǎn)品對于韓國這么重要呢？

       別的且不說，電子級HF屬壟斷產(chǎn)品，其純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性影響很大，主要用于半導(dǎo)體、太陽能和液晶顯示器等領(lǐng)域，是這些行業(yè)中關(guān)鍵的輔助材料之一。其中非常大應(yīng)用市場是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，約占電子級HF總消耗量47.3%；其次是太陽能產(chǎn)能，比重22.1%；液晶顯示器產(chǎn)業(yè)則占18.3%。半導(dǎo)體和液晶顯示都是韓國的支柱產(chǎn)業(yè)，對韓國的重要性不言而喻，因此日本這一招可謂打在韓國的命脈上。因此韓國急忙轉(zhuǎn)向中國，韓國三星、LG、SK海力士等企業(yè)開始頻頻與中國相關(guān)企業(yè)聯(lián)系，據(jù)說也簽訂了一些購買協(xié)議。

       目前日韓貿(mào)易戰(zhàn)已經(jīng)告一段落，中美貿(mào)易戰(zhàn)卻是愈演愈烈，中興被處罰，華為被全面封鎖，中國人民感覺到了芯片產(chǎn)業(yè)的重要性，電子級HF做為半導(dǎo)體制作過程中應(yīng)用非常多的超凈高純試劑之一，質(zhì)量必須得到保證。

       目前國內(nèi)現(xiàn)行關(guān)于HF的標準只有GB/T 31369-2015《太陽電池用電子級HF》，不過團體標準《電子工業(yè)用高HF》和《電子工業(yè)用高HF中痕量陰離子含量的測定  離子色譜法》已經(jīng)完成了意見征集，以上標準中均采用離子色譜來檢測HF中的痕量陰離子，離子色譜在保證電子級HF質(zhì)量方面具有*的作用。

          瑞士萬通離子色譜堅實耐用，整機由瑞士進口，取得“Swiss made”標識的使用資格（至少60%成本在瑞士，賦予產(chǎn)品基本特征的階段也必須在瑞士進行），十分適合HF中陰離子的檢測。

       離子色譜法直接分析HF中的痕量陰離子難度較大，高倍稀釋雖然能降低高含量的F^-的干擾，但大大降低了待測陰離子的靈敏度。二維離子色譜法為此類樣品提供了解決方法。HF其實為一種弱酸，它可以在離子排斥柱上保留，因此可利用這一特性，樣品在離子排斥柱上預(yù)分離，強酸如HCl、HNO3、H2SO4等在排斥柱上不保留，通過閥切換技術(shù)，進入第二套陰離子分析系統(tǒng)分析。

使用Metrosep Organic Acid做為離子排斥分離柱，淋洗液為超純水，進樣體積250μL，流速0.5mL/min，進行預(yù)分離；Metrosep A Supp 10-250做為陰離子分離柱，淋洗液： 5.0mM Na2CO3+5.0mM NaHCO3 ； 流速1.0mL/min，柱溫50℃，進行陰離子分析。

除電子級HF外，其它高純試劑如電子級硝酸、電子級磷酸、電子級*等原料中痕量陰離子的檢測，瑞士萬通均可提供完善的解決方案。